Abstrakti
Alkuperäiskieli | Ei tiedossa |
---|---|
Sivut | – |
Sivumäärä | 13 |
Julkaisu | Journal of Vacuum Science and Technology A |
Vuosikerta | 35 |
Numero | 1 |
DOI - pysyväislinkit | |
Tila | Julkaistu - 2017 |
OKM-julkaisutyyppi | A2 Katsausartikkeli tiedejulkaisuussa (artikkeli) |
E Ahvenniemi, AR Akbashev, S Ali, M Bechelany, M Berdova, S Boyadjiev, DC Cameron, R Chen, M Chubarov, V Cremers, A Devi, V Drozd, L Elnikova, G Gottardi, K Grigoras, DM Hausmann, CS Hwang, SH Jen, T Kallio, Jaana Kanervo
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Katsausartikkeli › vertaisarvioitu
Alkuperäiskieli | Ei tiedossa |
---|---|
Sivut | – |
Sivumäärä | 13 |
Julkaisu | Journal of Vacuum Science and Technology A |
Vuosikerta | 35 |
Numero | 1 |
DOI - pysyväislinkit | |
Tila | Julkaistu - 2017 |
OKM-julkaisutyyppi | A2 Katsausartikkeli tiedejulkaisuussa (artikkeli) |